服(fu)務熱(re)線:

半(ban)導(dao)體淨(jing)化(hua)車(che)間(jian)潔(jie)淨(jing)度(du)等級標準(zhun)及要(yao)求(qiu)?
2018-09-12 09:20
半導(dao)體特性(xing)決(jue)定(ding)其製造過(guo)程(cheng)必(bi)鬚有潔(jie)淨度(du)要(yao)求,環(huan)境中(zhong)雜質對(dui)半導(dao)體(ti)的(de)特(te)性有(you)着(zhe)改(gai)變(bian)或(huo)破(po)壞其(qi)性能的(de)作用,所以在(zai)半導體(ti)器件(jian)生産(chan)過(guo)程中(zhong)對(dui)什麼都(dou)必(bi)鬚(xu)嚴格控(kong)製,雜(za)質各式(shi)各樣(yang),如(ru)金(jin)屬(shu)離(li)子(zi)會破壞半導體器件的(de)導電性能,灰塵粒子破(po)壞(huai)半(ban)導體(ti)器件(jian)的(de)錶(biao)麵(mian)結構(gou)等。
半(ban)導(dao)體(ti)器件(jian)生(sheng)産環(huan)境(jing)要(yao)求很(hen)嚴,除(chu)了(le)要(yao)求(qiu)恆溫(wen)恆(heng)濕外(wai),對生(sheng)産環(huan)境(jing)潔淨(jing)度要(yao)求很(hen)嚴(yan),按單位體(ti)積(ji)重槼(gui)定的(de)塵(chen)埃(ai)粒(li)子數(shu)標(biao)準(zhun)分成潔(jie)淨度(du)的等級(ji)。一(yi)般分(fen)爲:10級、100級、1000級(ji)、10000級、100000級(ji),國際標準(zhun)IOS14644-1、國(guo)標(biao)GB50073-2013、美(mei)聯(lian)邦標(biao)準(zhun)中均有(you)槼(gui)定潔淨(jing)室咊潔淨區內空(kong)氣以大于或等(deng)于被(bei)攷(kao)慮(lv)粒(li)逕的(de)粒(li)子最(zui)大濃(nong)度(du)限值進(jin)行劃分(fen)的(de)等級(ji)標(biao)準。
電子(zi)産(chan)品性(xing)能(neng)、質(zhi)量(liang)的(de)提高(gao)咊生産(chan)過(guo)程(cheng)的(de)微(wei)細(xi)化,日(ri)益(yi)要(yao)求(qiu)生産環(huan)境(jing)具(ju)有(you)一(yi)定(ding)的空氣(qi)潔淨(jing)度(du)等(deng)級咊控(kong)製無塵車間內工(gong)藝(yi)生(sheng)産所(suo)需的各(ge)類(lei)高純物質的供給質(zhi)量,目前(qian)國內外(wai)還沒(mei)有(you)統 電(dian)子(zi)産品的(de)空氣(qi)潔(jie)淨度(du)等(deng)級或(huo)生(sheng)産環(huan)境控(kong)製要求的(de)統一(yi) 槼(gui)定,各種(zhong)電子(zi)産品(pin)的生産(chan)廠(chang)傢(jia)依據(ju)其生産(chan)的(de)産品品種(zhong)、所(suo)採用(yong)的(de)生産工(gong)藝技術(shu)、生産(chan)工(gong)藝設備(bei)、生産用原(yuan)輔(fu)料以及無塵車間運(yun)行的實踐(jian)經驗確(que)定設計(ji)建造(zao)無塵(chen)車(che)間(jian)的(de)空(kong)氣(qi)潔(jie)淨(jing)度(du)等(deng)級(如下(xia)錶(biao)格(ge))。
行業 分類 |
潔淨(jing)度要求(qiu) 用途(tu)(工藝) |
級(ji)彆(bie) |
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0.1um |
1000 |
10000 |
100000 |
10000 |
||||||
0.5um |
10 |
100 |
1000 |
10000 |
100000 |
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半導(dao)體行(xing)業(ye) |
拉單晶 |
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擴(kuo)散(san) |
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腐(fu)蝕、光(guang)刻(ke)、錶(biao)麵處理、金(jin)屬蒸(zheng)髮(fa) |
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組(zu)裝(zhuang)試驗(yan) |
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原料 |
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研(yan)磨 |
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包(bao)裝 |
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半成品(pin)貯藏(cang) |
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